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  • Dilase 250 一款桌面式精密激光直写设备

  • Dilase 250是一款桌面式精密激光直写设备,非常适用于快速打样、光刻掩模版加工以及微加工应用。
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Dilase 250 一款桌面式精密激光直写设备


 

Dilase 250是一款桌面式精密激光直写设备,非常适用于快速打样、光刻掩模版加工以及微加工应用。Dilase 250采用KLOE企业研发的光路设计,具有较大的聚焦景深,该设计辅以自动控制的参考标准,使之在无需设置自动聚焦的情况下保证良好的直接精度和重复性。

 


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激光光源:

Dilase 250激光光源的波长可以配置为375nm405nm,从而满足市场上大多数的商业化光刻胶的直写应用。包括激光探头在内的Dilase250的整个光路系统都是固定的,这保证了设备在工作过程中的稳定性和可靠性。

 

激光光斑聚焦系统

采用光学管技术,光源经过滤波、均一、聚焦等处理,形成直写光斑,实现高精度激光直写。

 

样品台

样品台采用该精度位移台,驱动样品按照App设定的图形进行移动,在此过程中,激光头保持在固定位置,实现大尺寸、高精度、无拼接图形直写。

 

技术特色:


1. 超大可视窗口

Dilase 250配备了一个超大可视窗口,可以直观地观测整个工作过程;同时,该窗口也方便操作人员完成上下料。

 

2. 高深宽比结构加工

Dilase 250独特的聚焦光路设计使之可以轻松完成深宽比201的微结构的加工,同时可定制满足501深宽比结构加工。

 

3. zui大直写面积:100mm*100mm

设备配置的精密位移台满足100mm*100mm尺寸样品的直写,位移台放置在大理石台面上,并具备防震设计,保证设备的稳定性。

 

4. 激光光源

采用高稳定性固态激光器,波长375nm405nm可选,工作寿命大于10000小时,无需预热等待。

 

5. 友好的操作系统

硬件方面设备配置预装直写App的电脑一台,设备上装有主开关和急停开关,操作窗装有安全传感器,只有在操作窗口关闭情况下激光器才会开启,保证操作人员的安全。

设备预装了DilaseSoft直写App,兼容LWOGDS2DXF格式文件。

 

6. 不同直写模式实现高速和高精度兼得

Dilase250是市场上一款具备三种直写模式的激光直写设备,即扫描模式、矢量模式和扫描+矢量模式,实现高速和高精度兼得。

 

规格参数


性能参数

分辨率: 100nm

线性直写速度:> 100mm.s-1

样品台位移精度:100nm standard 40nm optional

重复性误差:100nm

多层对位精度: 1?m

定位精度:3?m / 100mm

直写精度:100nm +/- 3?m

正交性:<1mRad

 

激光光源

波长: 375nm 或者 405nm

激光光斑: 1um-50um可选

 

样品载台:

样品大小:From 3x3mm? to 4" Up to 5" for square

zui大直写面积:100mm * 100mm

样品厚度:250um – 5mm

 

 

 

 

 

 

 

  • Dilase_250产品.pdf

    大小:
    2021-05-11 13:50:47
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